二手 ULVAC NE 550 #293758401 待售

ULVAC NE 550是由ULVAC Technologies, Inc.制造的蚀刻/蚀刻灰化机。NE 550旨在利用"干法"技术减少蚀刻或灰粉所需的时间。这项技术通过使用固定台、等离子体流和氮气的组合来加速蚀刻/灰化过程。ULVAC NE 550装有电脑控制设备和有纹理的TABLE，增强了蚀刻灰在晶圆表面的附着力。该表还提供了出色的晶圆平坦度。NE 550上的腔室大小为40厘米（长）x 36厘米（宽）x 25厘米（高）。这使得晶片的直径可达400毫米，厚膜可达1毫米。ULVAC NE 550还配备了重做和自动对准功能，使系统能够在蚀刻前快速对准晶圆。NE 550利用两个等离子源，感应耦合和电子回旋共振（ECR），功率范围为10至3,000瓦，用于精确蚀刻/灰化。温度范围在100°C至450°C之间，蚀刻速率为0.3 μ m/min至15 μ m/min。ULVAC NE 550有一个自动化的控制单元，带有可编程的配方和参数，能够方便用户操作。该机还配备了先进的反应性气体工具，结合使用氧气、氮气、HCl、CF4和SF6气体进行蚀刻和灰化应用。NE 550非常适合在硅晶片上蚀刻/灰化金属和介电层。它也被用于加工半导体器件、太阳能电池和平板显示器的各个行业。广泛应用于研发应用。ULVAC NE 550是一种有效的资产,已被证明是任何蚀刻/灰烬应用的高效和可靠的解决方桉。它结合了精度、速度和精度,是制造精密元件的理想选择。对于需要高级蚀刻和灰化工具以产生可靠和精确结果的用户来说，这是一个很好的选择。