二手 ULVAC NE 550 #9236724 待售

ULVAC NE 550是一款为现代半导体工业应用而设计的蚀刻器/asher。它是一个单一的腔室蚀刻器/灰化器，可以处理广泛的蚀刻和灰化过程。它配备了独特的阴极电弧蚀刻源技术，通过控制溅射提供完美的蚀刻效果。NE 550是一种高精度的工具，能够以最高的质量和重现性执行原子刻度蚀刻和灰化过程。它的等离子体源是完善的阴极电弧放电，最大电压为4.4 kV，功率为2 kW。它能够处理直径200至500毫米的晶片，不会对周围环境造成任何损害。这消除了异物的产生，因此在蚀刻和灰化过程中不使用危险化学品。气锁室完全密封，采用1x10至6 Torr的真空室，温度可达300摄氏度。其均匀性和可重复性提高了装置的生产率，为蚀刻工艺提供了最高性能。根据材料类型和配方,可以根据特定的应用调整蚀刻和灰化过程时间。ULVAC NE 550还提供了一些先进的功能，包括边缘角控制设备和腔室快速冷却系统。边缘角控制单元通过控制蚀刻源的角度有助于减少蚀刻时间。这提高了蚀刻结果的均匀性和重复性，也防止了底物的氧化。腔室快速冷却机有助于降低晶片的热稳定性。此工具有助于减少温度变化造成的缺陷,并改善蚀刻层的质量。总体而言,NE 550是一种先进的蚀刻工具,可提供卓越的蚀刻效果以及改进的工艺一致性和可重复性。它确保了最大的工艺效率和设备的最高产量。它是高精度、高通量蚀刻应用的理想选择。