二手 ULVAC NE 550 #9236725 待售

ULVAC NE 550是一种等离子体蚀刻器/asher，设计用于平面加工尺寸高达450mm的高精度基板。它是一种可靠、用户友好且用途广泛的蚀刻各种材料表面的工具。NE 550配备了强大的蚀刻站和公司节省地板空间的设计。该机具有用于等离子体处理的集成MF天线设备，允许基板更均匀的蚀刻速率，以及可调节的天线，提供对腔室的垂直和水平控制。ULVAC NE 550的自定义软件包允许用户为多个过程和材料编程过程参数。包装中包含的标准硬件部件是辅助气体包加热器、自动供气系统和远程电击单元，提供安全可靠的操作。蚀刻器的工艺室设有独立的冷却机，以维持最佳的温度和压力。高效抽水工具旨在减少蚀刻过程中的颗粒污染。腔室的温度控制是通过连接到PID型控制器的PID温度控制器实现的。NE 550装有一个高精密的阶段，用于蚀刻后基板的运输和粘附，以及一个在蚀刻过程中对基板的拨放进行精密自动移动的机器人手臂。机械臂由电机编码器驱动，测量基板位置以确保对基板的精确处理。在安全方面，该机设计用于检测气体泄漏，以降低发生事故的风险。此外，该机包括广泛的安全控制资产，包括紧急停止按钮、逃逸检测功能和自动关闭机制。总体而言，ULVAC NE 550 蚀刻器/asher是高精度零件批量生产的理想解决方桉，适合与多种材料配合使用。它操作简单、可靠，设计时考虑到安全性和精确度。