二手 ULVAC NE 5500 #9281926 待售
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ULVAC NE 5500是一款高性能的干蚀刻机,设计用于快速、准确地从多种基材中去除材料。这种干蚀刻器是一种全自动系统,可以执行等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻(RIE)、溅射蚀刻和激光蚀刻等蚀刻过程。它有一个简单直观的操作面板,提供了广泛的进程参数供用户修改。这款最先进的蚀刻器配有等离子体源、腔室温度控制系统,配有大功率射频发电机,提供对基板处理的精确控制。ULVAC NE5500干式蚀刻机具有室温控制系统,可用于可靠的低温高温工艺。这个过程允许精确控制蚀刻过程中使用的材料和化学物质,以及防止氧化和对基材的损坏。腔室以10-6 torr以下的总压力密封,以消除外界颗粒的污染。该室还设有两个石英窗口,用于观察蚀刻过程。NE-5500干式蚀刻器具有高功率射频发电机,可用于为蚀刻过程提供精确的功率。它具有2 kHz至8 MHz的广泛频率范围,精度高。该蚀刻器还可确保均匀配电,以实现最大精度和控制。射频发生器在蚀刻过程中还具有安全可靠的互锁机构,确保任何类型的干扰都能迅速消除。ULVAC NE-5500干蚀刻器还有一个紧凑的工艺室,旨在确保操作过程中的最大均匀性。该腔室的设计不仅提供最大精度,而且最大限度地减少蚀刻过程中的热量损失。腔室内部涂有耐腐蚀材料,以提高耐久性。此外,它还提供了较低的维护,从而减少了故障,并随着时间的推移提高了性能。总体而言,NE 5500是一款高效、可靠且坚固的干式蚀刻器,可满足许多不同工艺的蚀刻需求。其简单直观的操作面板可以轻松调整蚀刻参数,而其大功率射频发电机在蚀刻过程中提供精度和精确度,低维护设计确保了长期性能。这就是为什么ULNAC NE5500是一个伟大的解决方桉,任何人寻找一个高效和可靠的干蚀刻。
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