二手 ULVAC NE 550C #9266611 待售

ULVAC NE 550C是一种蚀刻器和灰化器,用于缩小尺寸和定义直径上限为8英寸的晶片上的图样。ULVAC NE-550C的先进设计和特点，使生产性能和精度更高。ULVAC专有冷凝辅助反应蚀刻技术在低侧面蚀刻入口处产生高质量的效果。该机使用具有集成脉冲蚀刻功能的直列式、高性能射频发生器。脉冲蚀刻确保晶片上图样的高、均匀的清晰度，并限制任何不必要的蚀刻。NE 550C具有在蚀刻和灰化过程之间切换的功能,使其在广泛的应用程序中非常有用。此功能非常适合需要频繁在流程之间切换的客户,从而提高效率和生产率。该机器还具有自动晶片处理功能，一旦晶片被放置在腔内，就会启动蚀刻或灰化过程。基于PC控制器的全自动控制设备使用户能够调整蚀刻过程以满足所需的最高标准。用户友好的软件和直观的用户界面提供了对气体成分、压力、蚀刻时间和温度等参数的完全控制。NE-550C包含一个板载真空系统，在工艺室内提供高均匀度的等离子体，同时尽量减少外部气体和空气的影响。自动气体过滤器清洗装置和自动泄漏检测机有助于减少气线维护造成的停机时间，确保安全处理。ULVAC NE 550C是晶圆加工应用的高效蚀刻和灰化机.其先进的技术允许低边蚀刻入口进行高质量的加工。能够在流程、自动晶片处理、板载真空工具和直观的用户界面之间进行切换,确保了高效、安全的处理,使其非常适合要求最苛刻的应用程序。