二手 ULVAC NE 550EXa #293627815 待售

ULVAC NE 550EXa是一款功能齐全的蚀刻器/asher,可提供卓越的蚀刻和灰烬性能。设备配备了先进的腔室设计和各种工艺、泵和提取选项，可以量身定制，以满足甚至最具挑战性的蚀刻和灰烬需求。NE 550EXa腔室设计具有先进的双区域、旋转和线性驱动以及独立的多区域蚀刻和灰烬功能。该工艺室采用射频驱动的装订墙设计，采用双壁工艺排气歧管，最大限度地提高泵室净化效率，优化工艺控制。双区域设计允许在晶圆的多个区域对特征进行蚀刻和灰化。ULVAC NE 550EXa还具有多种工艺、泵和抽取组件,包括高效、多速磁控管溅射源、内部开窗冷却室、高需求量多通道泵、多种可选工艺气体及其溷合物以及电隔离室。可选的高效多通道泵是需要最大流程吞吐量和控制的大容量流程的理想选择。该系统还提供可定制的工艺程序和变速电机，以简化和自动化蚀刻和灰烬工艺。可编程过程设置允许用户配置诸如腔室压力、射频溅射功率、卡盘电压、涂层/蚀刻/灰烬时间、温度和气流等过程参数。此外,NE 550EXa设计安全,易于维护。该装置设有一个安全联锁机器和一个全面的监测工具，可针对潜在危险情况发出声音和视觉警报。该资产还包括易于使用的电子控制面板和彩色图形用户界面、实验室自动化界面以及支持网络的操作。ULVAC NE 550EXa是一种先进的蚀刻器和灰化器,旨在满足最严格的蚀刻和灰分要求。其先进的腔室设计、可定制的工艺程序以及各种工艺、泵和提取选项简化了制造精确、功能丰富的零件的过程。无论对小零件还是大零件进行蚀刻和灰化,NE 550EXa都可以帮助降低成本、提高效率,并使生产过程更轻松可靠。