二手 ULVAC NE-550EXz #293797487 待售

ULVAC NE-550EXz是一种先进的等离子体蚀刻器/asher，设计用于支持各种纳米加工应用。由于其优异的电气特性和紧密的尺寸，特别适合于纳米设备的制造。NE-550EXz具有高效的工艺控制，并配有高精度石英石英室，可精确控制蚀刻参数和结果。该腔室的设计旨在确保稳定供应反应性气体，并且能够达到低环境压力（小于6 mTorr）。它还改进了样品材料的优惠处理，包括III-V和聚合物基底。ULVAC NE-550EXz还具有内置控制和监控功能。其计算机控制系统允许操作员在蚀刻过程中精确监控气流、压力和等离子体状况。它还以温度控制算法的形式利用实时反馈，确保运算符具有一致的结果。该系统还支持对基板进行自动实时修剪，进行小尺寸调整，以优化蚀刻轮廓。在动力方面,NE-550EXz为用户提供了卓越的性能。它配备了两台微波发电机--一台高频脉冲发电机和一台低频连续发电机--为等离子体源提供充足的功率。这使得它能够实现高选择性和均匀性的蚀刻过程。此外，它还能够达到长达15秒的循环时间，使其成为快速生产纳米设备的理想系统。最后,ULVAC NE-550EXz得到ULVAC知名服务和支持的支持。经验丰富的技术人员可以提供安装、调试、数据记录和计划维护方面的帮助。因此,NE-550EXz用户可以确信他们得到最高级别的客户服务的支持。