二手 ULVAC NE-5700 #293625420 待售

ULVAC NE-5700
ID: 293625420
晶圆大小: 6"
优质的: 2007
Dry etching system, 6" 2007 vintage.
ULVAC NE-5700是由ULVAC Technologies Inc.它是一种双频设备,能够实现高精度、高效和可重复的干蚀刻。该系统的工作原理是向基板材料提供高频波,而样品则用反应性气体保存在室内。波能分解基材中分子的键,使得材料被去除。该单元设计为在多种材料中提供高精度蚀刻工艺,具有多种应用。NE-5700的特点包括提供高达130 MHz的高频功率放大器,以及广泛的波形和频率扫描,允许在蚀刻过程中高性能和准确性。此外,ULVAC NE-5700还具有一个负载锁定室,可防止在蚀刻过程中损失反应性气体,从而提高性能和稳定性。NE-5700可以用来蚀刻硅、铝、镁、钛等材料。该机具有可变电源,可进行调节,在等离子体能量平衡分布的不同深度有效蚀刻材料。此外,该工具还带有数字设置旋钮,允许用户调整压力、真空水平、射频功率和频率等参数,以及许多其他变量。这种数字化设置功能使用户能够对资产进行快速有效的调整,从而获得最佳效果。ULVAC NE-5700还具有远程监控功能,可对作业数据进行主动监控,并对操作进行实时控制。最后,该模型的图形用户界面设计为直观易用,并配有可靠的帮助指南和多个教程视频以方便操作。总体而言,NE-5700是一款先进的干式蚀刻器/灰化器,专为各种材料的高精度和高效率而设计。它具有多种特性和功能,包括负载锁定室、数字旋钮和远程监控功能,以确保获得最佳效果。ULVAC NE-5700具有直观的图形用户界面,是需要可靠且功能强大的干蚀刻设备的用户的绝佳选择。
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