二手 ULVAC NE 7700 #9111268 待售

ULVAC NE 7700是一种高精度、低温的蚀刻器/asher,专为蚀刻多种材料而设计。其低温能力使其能够蚀刻细腻敏感的材料，降解风险最小。NE 7700有一个由内部体积为71L的不锈钢构成的加工室。它配有二氧化碳（CO2）气体输送系统，允许在整个腔室进行准确和均匀的蚀刻过程控制。其狭缝载荷设计，便于基板载荷和卸载，并提供了防止污垢颗粒在工艺室内。此外，还包括一个综合真空泵，用于从该过程中排出污染物和挥发性有机化合物。在过程控制方面,ULVAC NE 7700有一个电源单元（PSU）,可手动和可编程供电。PSU具有极高的准确度,其通电时间和断电时间可在10毫秒内固定,总电源持续时间可在25毫秒内固定。还包括真空压力指示器（VPI）,用于监测整个过程中的处理压力。NE 7700配备了最优工艺设置程序，该程序根据蚀刻条件自动控制湿蚀刻工艺。通过输入目标蚀刻深度和蚀刻速率和轮廓的敏感性,程序随后计算蚀刻过程的最佳条件。蚀刻速率可从0.2至20 μ m/min调节,蚀刻温度范围为0°C-70°C。ULVAC NE 7700是一款用途广泛的蚀刻器/asher，可用于蚀刻多种材料，包括金属、半导体和聚合物。它体积小巧,台式机设计使其能够轻松集成到任何实验室环境中,而且它的低温性能使其适合精确、敏感的蚀刻应用。因此,它是在大学、研究所和生产环境中进行蚀刻和灰化应用的理想选择。