二手 ULVAC NE-950EX-V #9298401 待售
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ULVAC NE-950EX-V是一种由模块化设计构成的蚀刻器/粉碎器设备。它能够对各种不同的材料进行高质量的蚀刻，从金属到半导体。它能够蚀刻/粉刷各种不同尺寸的基材，包括250毫米晶圆。系统配有传感器，用于检测基板的尺寸，以便对每个蚀刻过程应用正确的设置。该单元还能够容纳最多三个不同的蚀刻和两个ashing站，允许多步蚀刻和ashing过程在一个运行进行。NE-950EX-V的主要特点是多功能性。它有一个四轴，X-Y-Z-θ控制机，允许每个基板精确定位和调整，以最大程度的蚀刻精度。该工具还可以容纳各种不同的加工气体，能够精确控制每种气体的流动。这允许对不同的应用程序使用不同的蚀刻和灰化过程,从而更好地控制蚀刻配置文件和性能。该资产由一个自动控制单元驱动，该单元可由用户编程，用于定制蚀刻和灰化操作。它还设计了一个内置的自动调整模型，用于优化过程参数，并且可以进行远程监控和控制。这使得即使在流程变更期间也能快速、稳定和可靠地运行。这些设备还具有全面的安全功能，配有联锁装置和监测装置，以防止未经授权和潜在危险的行动。总之，ULVAC NE-950EX-V是一种功能强大的、精密控制和自动化的蚀刻器。它具有高度的灵活性和优化的操作，是各类蚀刻和灰化应用的理想系统。
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