二手 ULVAC NE-950EX #293647319 待售

ULVAC NE-950EX是一种旨在满足高端研究和工业应用需求的蚀刻/粉碎机。该仪器在晶片、集成电路和其他基板上产生高质量、高分辨率的蚀刻。利用窄电子束，提供高蚀刻速率、低污染、优良的表面质量。NE-950EX具有专有的径向光束控制设备,可实现卓越的深度控制,并具有屏蔽式热阴极电子枪,可提高光束的稳定性和均匀性。利用ULVAC专有的气体溷合系统，蚀刻器支持多种气体，包括甲烷、氧气、一氧化氮、氮气、氙气等等。此外，该单元还配备了自动气体成分和流量控制机，以及快速高效蚀刻的综合工艺控制软件。软件还允许用户为每个蚀刻过程设置参数,以确保结果一致。此外，ULVAC NE-950EX提供了一个密封的射频等离子体腔，以尽量减少蚀刻时的污染。其精密的加热工具通过提高工艺表面的温度，使气体电离形成离子和电子的羽流，有助于提高蚀刻效率。这些离子与基材发生反应，形成均匀的蚀刻轮廓。该资产还配备了内置的自动真空模型和全面的设备监控和诊断软件。该监控软件允许用户监控实时系统参数、气流和压力、腔室温度和错误消息。此外,它还提供了将数据导出到外部打印机或计算机以进行进一步分析和记录保存的功能。最后,NE-950EX设计方便操作,并配有直观的用户界面和触摸屏控制器。这种蚀刻器/asher提供了卓越的蚀刻效果，减少基板污染，高表面质量和分辨率，并在一个紧凑和经济实惠的单元出色的深度控制。