二手 ULVAC NE-950EX #293828963 待售

ULVAC NE-950EX 蚀刻器/asher是一种先进的干蚀刻设备,用于在多种应用中对极薄膜进行精密蚀刻或灰化。该系统能够处理Si、GaAs、Cu等多种材料。该装置具有平衡的载荷框架和改进的推力能力，能够保持较高的吞吐量和精度水平，同时保持对工艺参数的最大控制。NE-950EX提供了高度精确的蚀刻或灰化过程。这台机器具有多种处理能力，可提供高吞吐量和快速周转时间。这包括自动调整正确的晶圆厚度、精确的压力控制和精确的温度控制。其直流操作确保了一致的性能，并消除了静电放电的风险。此外，它还与先进的管道压力监测仪集成在一起，以确保工艺室内无颗粒颗粒。利用ULVAC先进的等离子体发生器，ULVAC NE-950EX提供了较高的蚀刻速度，对基材的损伤最小。此工具具有多喷嘴等离子体源,允许对蚀刻速率和选择性进行高级控制。加上三电极资产，模型能够精确控制蚀刻图桉的大小、形状和深度。NE-950EX的过程自动化设备提供了卓越的过程稳定性。这个系统最多可以储存15种不同的食谱，并且可以用简单的按钮操作进行调整。该自动化单元还允许通过远程操作和诊断进行高效维护。为了提供额外的安全和保护,该机器还集成了自动延迟超压保护和紧急关闭开关。ULVAC NE-950EX是一个非常先进的蚀刻器/asher,它提供了一个快速而精确的过程,具有卓越的可重复性。凭借其集成的自动化工具，该资产能够提供卓越的蚀刻质量，具有高度的可重复性和先进的控制。结合低维护成本，这款车型提供了极好的投资回报。