二手 ULVAC NE-950EXk #9204281 待售

ULVAC NE-950EXk Etcher/Asher是一种高精度的蚀刻和灰化设备,能够产生高质量的蚀刻和灰化工艺。利用其高精度压力控制系统和ULVAC独特的蚀刻技术，NE-950EXk可以生产蚀刻深度非常均匀、线宽狭窄的薄膜。ULVAC NE-950EXk是一种蚀刻器/灰化器,它使用一系列化学过程和物理技术对材料进行蚀刻或灰化。该单元包括一个用于沉积蚀刻口罩的等离子体蚀刻模块和一个用于去除蚀刻口罩的溅射模块。该机还有一个集成的高精度压力控制工具，可用于精密蚀刻和灰化。蚀刻过程使用一种化学剂进行，该化学剂与气相中的材料发生反应，并用于精确蚀刻薄膜。灰化过程使用氧化剂执行,该氧化剂用于从表面蚀刻不需要的材料。这一过程可以在没有残余层的情况下进行精确的粉刷，并且比其他方法所能达到的精度更高。NE-950EXk资产还配备了三个独立控制的气源、温度传感器和质量流控制器，以实现精确的蚀刻和灰化。此外，该模型还有一个腔室压力监测设备，允许精确和可重复的真空结果。除了蚀刻和灰化，ULVAC NE-950EXk还可以生产相册离子、溅射沉积膜和聚合物膜。此外，通用系统允许多层基板加工。综上所述，NE-950EXk是一种高精度的蚀刻和灰化装置，能够产生高质量的结果，具有较宽的蚀刻深度和较窄的线宽。该机集成的高精度压力控制工具和独特的蚀刻技术也使其成为生产具有精确、可重复蚀刻深度和狭窄线宽的薄膜的绝佳解决方桉。最后，资产的多功能性使其还能产生溅射沉积膜、离子束沉积和多层底物。