二手 ULVAC NE-950EXk #9359650 待售

ULVAC NE-950EXk是为生产高质量微电子元件而设计的蚀刻器/粉碎器。这种设备使用最先进的技术，以最小的污染创造一致的精确和可重复的结果。这个系统是一个多功能的蚀刻器/asher，具有集成的源和腔室组件，两者都是模块化的，设计方便的可扩展性和灵活性。该单元的源模块由包括气柜和淋浴的气体分配机、射频发生器和热丝组件组成。气柜和淋浴为工艺室提供精确和可再现的加工气体，从而可以精确控制工艺的性能。射频发生器为FCCVD、F-CVD、电镀蚀刻工艺提供动力，提供多层的受控气相沉积或精确调谐蚀刻，RS发生器确保重复性和性能。热丝组件（HFE）模块是为快速热处理技术而设计的,为热氧化、退火和其他过程提供惰性环境。NE-950EXk工艺室模块的设计具有良好的工艺均匀性、可重复性和鲁棒性。它是一种集成了冷却水排气设备的湿式工作台工具。此腔室设计用于处理广泛的工艺应用,包括超高密度蚀刻、溅射蚀刻、等离子体退火和RIE蚀刻/蚀刻。该腔室还设计用于薄膜沉积、薄膜清洗、溅射等多用途应用。ULVAC NE-950EXk各种微电子元件和生产过程的理想工艺解决方桉。除了高度可靠的模型设计外,ULVAC还为NE-950EXk提供了许多支持服务。这些服务提供完整的启动帮助、安装指导、咨询和故障排除服务以及过程开发和优化。利用这些服务，ULVAC NE-950EXk旨在在半导体和微电子市场提供最高水平的性能。