二手 ULVAC NE-950EXz #293797424 待售

ULVAC NE-950EXz 蚀刻器/asher是用于控制反应性离子蚀刻和灰化过程的通用、可靠的高级工具。该设备采用创新设计,比以前的型号提供了更好的性能。该系统由工艺室、双机器人、控制器和各种接口设备组成。该室配有原位感应等离子体发生器，可实现更好的均匀性和更少的交叉污染，并利用垂直和水平电场实现高质量的生产力。双机器人提供增强的自动进料和加载能力，允许快速、方便的操作。具有较高的沉积速率，NE-950EXz可以实现更均匀的涂层和更高的等离子体密度，从而提高蚀刻/灰化性能。该单元配备了多功能控制器，允许多种编程选项。操作员可以配置各种参数，根据特定任务定制沉积和蚀刻过程。控制器还提供实时监控功能以确保质量结果。控制器可以远程操作，提供进一步的便利和灵活性。ULVAC NE-950EXz还包括涡轮泵、真空计、端点探测器和自动压力控制机等一系列附件。这些配件旨在确保高效可靠的操作。该工具可与各种气体溷合物一起使用，使其能够完美适应任何蚀刻/灰化工艺。总之,NE-950EXz是为高级用户设计的通用、可靠的蚀刻/灰化资产。该型号具有高效的组件、多功能控制器和多种配件,可提供快速、方便的操作,并具有高质量的效果。