二手 ULVAC NE-950EXz #293797486 待售

ULVAC NE-950EXz是为半导体、微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）和其他相关行业中各种材料的精确和高性能处理而设计的最先进的蚀刻器/粉碎器设备。该系统采用了先进的技术和特点，能够高效、均匀地加工基板，具有优异的蚀刻和灰化效果。NE-950EXz的主要亮点之一是其多用途的加工能力，它能够实现广泛的应用，包括光致抗蚀剂去除、表面清洁、介电和金属材料蚀刻以及半导体制造和研究中的其他关键工艺。这种灵活性是通过创新的硬件设计、复杂的过程控制算法和用户友好的软件界面相结合而实现的,这些界面便于为不同的应用程序定制过程参数。该单元具有双频、电感耦合等离子体（ICP）源,产生具有极佳离子密度和能量分布的高反应性等离子体,可有效去除和蚀刻材料。ICP源得到下游等离子体源的补充，以进一步控制过程化学和等离子体特性，从而增强蚀刻选择性、均匀性和可重复性。此外，ULVAC NE-950EXz还配备了具有精确温度控制和气流管理能力的坚固的反应性离子蚀刻（RIE）室。该腔室设计用于容纳从晶片到单个样品的各种基材尺寸和类型，确保与不同的工艺要求兼容。该机器还具有先进的端点检测功能，能够实时监测蚀刻过程，准确确定端点信号，从而改进过程控制和重复性。除了其蚀刻能力外，NE-950EXz还能够对基板表面的有机污染物、光致抗蚀剂和其他残留物进行灰化处理。该工具的灰化室配备了专用的气流控制系统和温度管理功能，以确保最佳的灰化条件，并最大限度地减少过程中对敏感材料的损坏。此外,ULVAC NE-950EXz的设计具有高度的自动化和可靠性,可方便高效、免提操作并最大程度地减少停机时间。该资产包括高级诊断工具、远程监视功能和自动化维护例程,可帮助优化模型性能、延长组件使用寿命并降低用户的运营成本。总体而言,NE-950EXz是一种用于高级半导体制造、研究和开发中的蚀刻和灰化应用的前沿解决方桉。它结合了高性能的等离子体源、多用途的工艺能力、精确的控制功能和先进的自动化功能，使其成为取得卓越工艺成果、提高生产率、推进下一代半导体器件和技术发展的宝贵工具。