二手 ULVAC NLD-800 #293610229 待售

ULVAC NLD-800 Asher/Etcher是一种高性能蚀刻和灰化装置，非常适合晶圆和各种基材的加工。NLD-800具有超精密的蚀刻和灰度处理工艺,以及可为大多数客户提供直接蚀刻设备的功能,是极紧尺寸公差和高速率生产的完美解决方桉。蚀刻器/asher有一个大腔室，并配有射频发生器，以高效传递电能和精确控制蚀刻和灰化过程。ULVAC NLD-800旨在利用射频发电机的高频和高功率能力提供均匀、高度可重复和非常可控的蚀刻和灰化过程。它有一系列的控制参数，如工艺的数量、电平温度、频率、功率和化学浓度，可以编程，以确保每个应用的最佳结果。NLD-800设计方便地加工直径达6.0英寸的基板,无需任何修改。为统一加工基板提供了夹紧系统、活动篮子和支架等标准配件，以及隔离板的圆顶支撑平台。使用批装机系统可以方便地装卸基板。ULVAC NLD-800还配备了掩体互锁开关和等离子体电离器等各种安全措施，防止腔室在其内部压力正常前被打开。此外，低质量的不锈钢盖和优化的疏散系统可以显着减少工艺化学品的排放。蚀刻器/灰化器的先进设计能够与一系列化学品实现最佳兼容性，减少化学品消耗，并最大限度地减少对操作者和环境的影响。此外，先进的诊断和预防性维护功能允许用户监控系统的工艺条件和参数，以确保均匀和可重复的蚀刻或灰烬工艺。NLD-800是研发、合同制造或生产环境中高精度蚀刻和灰化操作的理想选择。凭借轻巧的设计、先进的安全功能和射频发生器功能,ULVAC NLD-800为各种客户端提供了高度的控制、可重复性和功能。