二手 ULVAC Phoenix #133356 待售

ULVAC Phoenix是由ULVAC Technologies Inc开发的蚀刻/灰化设备。它是半导体工业必不可少的工具，因为它有助于产生现代集成电路设计。该系统利用热氧化和化学蚀刻工艺在基材表面形成微小的图样。这一过程对于创建小的、复杂的模式，直到纳米范围是必不可少的。它也用于创建薄膜电路，是电子工业中使用最广泛的蚀刻/灰分设备之一。菲尼克斯有一个超低真空（ULV）腔室，有一个旋转源，将气体或化学物质送入腔室。零件在4轴自动机单元上加载到腔室中。该机器人精度高，可重复精度高，可容纳多个不同形状和大小的零件。这台机器能够进行干湿蚀刻.在湿蚀刻中，将一种化学溷合物注入室内，以便在基材表面形成所需的图桉。干蚀刻利用等离子体通过溅射和/或离子轰击的过程实现选择性蚀刻，从而形成图样。ULVAC Phoenix支持单片和晶片卡带加载。它允许手动和自动装载、卸载以及进出舱室。一旦进入腔室，就用高真空压力、反应性气体和热相结合的方式对零件进行蚀刻或灰化。此外，由于快速循环时间和高性能的旋转精度，腔室内的不同操作可以快速高效地完成。该工具还提供了出色的可靠性和可重复性。这样可以确保产品的质量一致,从而获得优异的产量和更高的生产吞吐量。此外，凤凰城还提供业界领先的安全性，利用众多的氧化和蚀刻工艺，这些工艺旨在释放最小的副产品。总体而言,ULVAC Phoenix是一项出色的蚀刻和灰化资产,非常适合生产高质量、错综复杂的亚微米集成电路设计。它拥有一系列功能,使其成为任何生产环境中的强大工具。