二手 ULVAC Phoenix #9164102 待售
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ID: 9164102
优质的: 1998
Etcher
Enviro single chamber
Multiple step RF
Microwave plasma asher
Includes:
BROOKS AUTOMATION MTR-5
BROOKS AUTOMATION Board M/N 001-1951-02 revC3
BROOKS AUTOMATION M/N 001-8200-76
BROOKS AUTOMATION M/N 001-2300-47
ASTEX AX2050 2500 W Microwave power generator
ASTEX AX3032
ASTEX AX3030
ASTEX F120047
ASTEX SA2050TBB
ASTEX S402WG2
ASTEX AX3060
GE FANUC Series 90-30 CPU 341
ENI Automatch M/N MWH-5-01M3
JET Light power supply M/N DC24-8000-30
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1008
VAT Vacuum gate valve M/N 02010-BA24-1009
THK-SC6
MKS Vacuum isolation valve M/N LP2-40-AK-CLVS
MKS BARATRON Pressure transducer M/N 122BA-00010AB
Multiple AERA MFCs FC-7700CD
NUPRO Valves
Gateway computer & wonder ware
Spare parts
Multiple support manuals & documentation
Power: 208 V, Cycles 60 Hz, 30 Phase, 60 A, 5 Wires,
1998 vintage.
ULVAC Phoenix是由ULVAC, Inc.开发的蚀刻/粉碎器设备。它是为各种基材的高速、高精度蚀刻和粉刷而设计的。该系统有一个自动基板处理单元，允许超高速，一通，角控制，在广泛的材料。凤凰利用离子束均匀地蚀刻基板，它有两个主要成分：蚀刻/灰化源和控制单元。源由一个离子源、一个机械运动机器和一系列镜头组成，以聚焦离子束。控制单元提供控制蚀刻、灰化和清洁过程所需的参数。控制单元设计为提供广泛的参数设置，允许用户对参数进行编程，以实现各种基板所需的结果。可编程参数包括气流、源梁功率、蚀刻和灰化角度以及材料层速率。可调参数为各种材料和工艺提供了灵活性。此外，ULVAC Phoenix的设计符合国际安全标准，包括防静电防护、符合人体工程学设计的控制面板，以及先进的安全工具。Phoenix是最强大可靠的蚀刻器/ashers之一。它利用高速蚀刻和灰化、灵敏控制系统以及先进的安全功能，为用户提供了一个高效的蚀刻和灰化基板解决方桉。此外,它灵活的编程功能支持广泛的应用程序和过程,使用户能够根据其蚀刻/灰化需求获得最佳性能。
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