二手 ULVAC Ulvac W200T #184763 待售

ULVAC Ulvac W200T是一种为各种精密蚀刻应用而设计的干膜蚀刻器/asher。该装置由工艺室、基板级、气体控制设备、真空系统、电源控制单元、排气机、控制面板组成。工艺室水平配置有观察蚀刻过程的窗口，从而可以精确控制蚀刻参数。石英室配有法兰，用于加工基板的精确对准和装载。基板级是水平X-Y-R线性级，具有精确的停止和重复精度，用于快速载荷和基板定位的精确对准。该级还包含一个惯性光学对准工具和一个用于加工圆形基板的旋转基板附件。气体控制资产是一种全自动模型，具有数字读数，用于精确的气体控制蚀刻过程。气体控制由两条气体管线组成，一条管线用于蚀刻气体，另一条管线用于加工辅助气体，两条管线均匀调节。真空设备包括涡轮分子高真空泵和快速释放机械泵。涡轮泵允许工艺室达到10-6至10-8 Torr的压力，而机械泵则设计为提供200至500 mTorr的压力。电源控制系统可调，提供蚀刻多种电路所需的精确电源和控制。排气单元为射频过滤甚高频，确保最大蚀刻速率和最小扩散。控制面板提供内置的计算机机器和符合人体工程学的控制旋钮，方便精确地控制蚀刻过程。该工具还配备了板载冷却水资产，以提高蚀刻速率，并控制温度和蚀刻气氛。Ulvac W200T能够将SiO2、SiNx、SiOC、聚酰亚胺、COC等多种材料精确蚀刻沉积到金属、金刚石如碳（DLC）、碳纳米管。该蚀刻器非常适合各种应用，包括但不限于微电子材料、器件和电路。