二手 ULVAC UNA 2000 #163814 待售

ULVAC UNA 2000是一种蚀刻器和粉碎器,设计用于各种制造过程中的卓越工艺性能。该设备非常适合精密微电子器件的制造，为无功和无功气体蚀刻及灰分工艺提供了可靠的工艺控制。UNA 2000利用一个装卸室进行装卸作业，装有加热/冷却板、光掩模板和基板。它包括一个6英寸到8英寸的单晶片团簇型端效应器和一个带有石英钟喷嘴的扫描射频感应板，以实现工艺灵活性。提供了一系列的过程控制机制，包括一个适用于多达64个气源的ASTAR II可寻址气体歧管，该歧管具有自动气体切换能力，以及用于设置气体流量的质量流量控制器。该系统还包含真空泵、石墨套筒和屏蔽、热线陷阱、低温泵、气体面板和工艺控制软件。ULVAC UNA 2000还附带了一个额外的电束控制单元和控制器，允许用户对目标基板的高能量内爆进行编程。分步诊断菜单有助于确保机器的安全可靠运行。UNA 2000采用单晶片模式和批处理模式设计，允许用户在单个或批基板之间切换。此功能有助于简化基板加载和卸载。该工具还配有高精度气体喷射和射频基板加热设备，用于目标的有效和均匀的蚀刻/灰化。ULVAC UNA 2000能够每小时处理多达2000个基板,并提供带有触摸屏显示器的可选群集控制器,以便于控制晶圆的移动和状态。它包括一个用于显示过程气体压力、气体流量和过程控制定时的监视器。该模型能够通过标准配方语言（SRL）提供流程配方,用于快速流程设置和软件下载。UNA 2000是一种高效可靠的蚀刻器和灰化器，在微电子器件制造中提供卓越的性能。该设备提供坚固的工艺控制、全方位的工艺控制机制、高精度气体注入、射频基板加热系统，同时提供单片片和批量工艺操作。该单元为用户提供了一个快速、安全和可靠的解决方桉,用于要求苛刻的制造过程。