二手 ULVAC UNA-2000 #293616239 待售

ULVAC UNA-2000是一种化学蚀刻器和灰化器,适用于各种应用.它设计用于在车间或生产环境中处理中小型基板。UNA-2000提供了许多特性和功能,包括蚀刻各种基材的能力,例如硅片、玻璃、蓝宝石、石英和金属。它有一个四室设备，提供双重蚀刻和灰烬工艺，以及一个用于预处理和后处理的室，以及一个隔离室。隔离室有助于使用于蚀刻和灰化过程的化学加工剂（CPA）远离其他腔室,从而显着提高设备的耐用性并提高系统可用性。ULVAC UNA-2000采用模块化设计,便于设置和维护。它具有9区工艺温度控制单元和能够实现高速、高精度蚀刻的喷嘴。它还具有一个预处理室，用于控制基材上的残留杂质，提供更高的产量和更好的蚀刻质量。UNA-2000还具有全自动触摸屏显示功能,提供易于使用、菜单驱动的用户界面。可编程控制参数可以定制为处理配方，以后可以从内存中存储和召回。ULVAC UNA-2000的钝化室可以连接到真空线，从而实现干性膜的去除和清洁。该室还装有一个排气口，用于疏散已建成的CPA。UNA-2000是一个有效和适应性强的蚀刻器/asher机器，适用于广泛的应用。其模块化设计使安装、维护、操作方便。其精确的工艺温度控制、高精度喷嘴和自动菜单驱动的用户界面，确保了精确一致的蚀刻和灰化结果。为了提高耐用性和提高工艺精度，ULVAC配备UNA-2000隔离室、钝化室和排气口，使其成为各种蚀刻和灰化工艺的理想选择。