二手 ULVAC UNA-2000N #9055149 待售

ULVAC UNA-2000N是为许多工业应用而设计的精密干式蚀刻器/灰化器。本机配备了高精度对焦镜头和高速多级薄膜蒙版舞台。它能够蚀刻厚度达2微米的单层薄膜，以及厚度达10微米的多层薄膜。其广泛的操作参数允许精确、可重复和低成本的蚀刻过程。UNA-2000N配备了2000-Watt的射频电源，使其能够在蚀刻过程中产生高蚀刻速率和高精度。它还配备了一个经常可调节的光栅尺寸，允许机器设置用于各种尺寸的蚀刻作业。此外，它的低温等离子体室和低压操作有助于最大限度地减少颗粒产生和膜污染。ULVAC UNA-2000N有600摄氏度的上限温度，使得它适合热敏材料包括玻璃、陶瓷、cermet、碳和聚合物。其光阻去除和原位清洁功能非常适合最复杂的蚀刻工艺。此外，其内置气体系统允许各种气体，增加了蚀刻的灵活性。UNA-2000N配备了一系列安全功能,以实现可靠的性能和长期耐用性。它的动态温度控制系统确保热量的均匀分布和一致的温度，而隔室保护快门防止污染进入隔室。此外,它的内置监视器提供了对过程数据和系统警报的准确监控,有助于防止在蚀刻过程中发生任何意外事件。这种精密蚀刻器/asher适用于广泛的工业应用，包括半导体器件加工、晶圆级封装和微元件蚀刻。其先进的功能,加上卓越的性能,使其成为洁净室环境的理想选择。ULVAC UNA-2000N是各种工业环境中精密蚀刻和灰化的理想选择。