二手 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9125878 待售

UNAXIS/NEXTRAL N 860是一种化学机械蚀刻和灰化设备，具有集成的负载锁。该系统利用等离子体和湿蚀刻技术实现了广泛的工艺应用。UNAXIS N 860具有优化的控制单元,能够提供卓越的薄膜厚度均匀性和卓越的薄膜质量。NEXTRAL N 860利用配备感应耦合线圈的等离子体蚀刻室，产生功率范围较大的非平衡等离子体。该腔室还配备了射频匹配网络、气泡、真空泵，以保证最佳等离子体条件。该室还包含一个石英托盘和热电偶，以提供温度控制和对薄膜蚀刻参数的精确控制。机器与机械搅拌化学湿蚀刻室集成在一起。这个腔室配有射流、泵和阀门，使材料的化学蚀刻成为可能。湿蚀刻室由不锈钢制成，设计为与多种化学品兼容。该工具使用配方管理软件进行编程，允许在配方管理资产中输入流程参数。该软件提供各种功能，如蚀刻和沉积时间控制，以及通过集成热电偶进行腔室温度控制。N 860还具有集成的负载锁，为蚀刻和沉积过程提供温度控制和操作稳定性。负载锁采用压力密封，由不锈钢制成，为蚀刻沉积作业提供清洁安全的环境。UNAXIS/NEXTRAL N 860蚀刻和灰化模型是用于高质量蚀刻和灰化操作的强大工具。其优化的控制设备和广泛的工艺应用使其能够提供卓越的均匀性和薄膜质量。此外,它的集成负载锁确保温度控制和操作稳定性.