二手 UNAXIS / NEXTRAL N 860 #9170856 待售

ID: 9170856
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
High density plasma etcher, 8" For de-layer 2002 vintage.
UNAXIS/NEXTRAL N 860是一种蚀刻器/灰烬装置,设计用于涉及金属、聚合物、陶瓷和其他材料干蚀刻的生产过程。它采用48x48x15厘米的工作包络设计,可实现高部件吞吐量。UNAXIS N 860配备自动化设备部件,能够对工件进行高效和精确的蚀刻和粉刷。它还具有最先进的安全保护装置,可保护最终用户在蚀刻/灰化过程中免受任何辐射照射。该系统配有闭环反馈单元和单一的用户友好控制面板,用于监控流程并进行实时调整。自动自我诊断功能可确保所有组件在生产开始前都处于完美的工作状态。在机器硬件内,装有石墨等离子体室、供气口、射频(RF)发生器和石英馈通工具。射频发生器产生电磁场,在等离子体室中产生等离子体放电。然后利用气口将工艺特异性气体引入腔室,触发反应并蚀刻工件。该进料资产采用挤压阀机构对反应物气体流量和压力进行精确控制,从而能够准确调整所需的蚀刻参数。NEXTRAL N 860提供高达2000 dpi的高精度蚀刻和灰化,实现了多种应用,从细线蚀刻和敏感工业元件的切割到大规模零件的蚀刻和切割。内部水冷模型保持必要的温度,以获得最佳性能和安全性。该设备可用于各种环境,从标准实验室到洁净室和工业环境。N 860是生产线和更大规模运营的完美解决方桉,提供高吞吐量、可靠性和精确度。硬件设计确保了高性能和安全性,而可定制的软件和高效的馈送系统允许进行细微调整以适应任何蚀刻和灰化应用。UNAXIS/NEXTRAL N 860具有先进的功能和可靠的性能,可确保任何环境下的最佳生产性能。
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