二手 UVOCS T10X101/0ESIE #293593213 待售

UVOCS T10X101/0ESIE是一种适用于一系列应用的高性能蚀刻器和asher。它是一个批量设备，具有先进的针梁室设计，能够容纳多达10个200毫米的试样晶片用于蚀刻，最多300毫米的试样晶片用于灰化。T10X101/0ESIE模型还具有可用于沉积薄膜的LPCVD腔室。设计T10X101/0ESIE模型的腔室，以确保最佳的气体流动沿轴和到样品。采用全闭环调节的7区热传导加热系统、基板加热用红外加热器、工艺参数稳定用二次腔室和实时蚀刻端点测定用Helios平面辐射计。此外，该装置还配备了先进的热控制机，沿全晶片直径提供统一的加工条件。T10X101/0ESIE蚀刻器和asher采用集成过程控制工具（IPCS）和先进的直观触摸屏用户界面。这允许用户轻松配置蚀刻和灰化所需的资产参数。此外,它还具有自动蚀刻程序,该程序可实现自动蚀刻配方优化,以及最多10个小数位数的蚀刻速率精度。模型还允许变量配方参数,具体取决于要蚀刻或粉刷的材料。此外，T10X101/0ESIE设备还配备了过程气体进气和全排气控制、激光照明和简单放置系统，方便用户安全。该模型能够实现高蚀刻和灰化速率,同时最大程度地减少表面损坏和其他工艺工件。最终,UVOCS T10X101/0ESIE蚀刻器和asher为许多蚀刻和灰化过程提供了高性能和可靠的解决方桉。它的精确控制、先进的腔室设计和直观的界面使得它成为研发实验室以及工业应用的一个有吸引力的选择。