二手 VEECO / MICROETCH 1201 #293628789 待售
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VEECO/MICROETCH 1201是为半导体器件制造中的精密应用而设计的先进蚀刻器/asher。这种先进的设备具有高精度的温度和介电蚀刻室，能够公差严密的工艺参数，同时提供坚固和一致的结果。此外，集成离子枪技术提供了精确的横向和垂直蚀刻控制，允许精确和高质量的图样得以开发。VEECO 1201设计用于高底物温度和低温反应物，以提高蚀刻精度和重复性。这样可以在严格的工艺公差要求内进行蚀刻,而不会影响工艺性能或质量。MICROETCH 1201还具有高分辨率成像能力，可用于实时监测蚀刻过程并检测局部异常。腔室还配备了多种射频源，用于产生各种等离子体密度，为不同蚀刻应用提供恰到好处的工艺参数。1201用途广泛,可用于各种蚀刻和粉刷应用。它能够通过厚膜和透硅通气进行蚀刻，同时避免对敏感基板的损坏。此外，VEECO/MICROETCH 1201具有集成的快速热处理能力，可实现快速高效的热处理，如氮化和氧化，以及薄膜和半导体基板退火。无论基板尺寸和形状如何,此特性都能确保高度均匀的热过程。此蚀刻器/asher由于其独特的功能和性能组合而真正脱颖而出。VEECO 1201是一种高度可靠和高效的设备,可提供无与伦比的精确度、可重复性和精确度,用于蚀刻和粉刷应用。它是半导体器件和MEMS制造的理想选择，有助于最大限度地提高产量，最大限度地减少代价高昂的工艺误差。
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