二手 VEECO / MICROETCH 1201 #293628795 待售

VEECO/MICROETCH 1201是一种蚀刻器/asher，一种用于生产先进微电子的特定类型的先进设备。这一装置常用于半导体制造和先进的微电子工业，利用化学和物理过程的组合，从基板上蚀刻掉不需要的材料，如金属和聚合物薄膜。该单元主要用于处理集成电路、半导体元件和相关微电子器件。VEECO 1201具有独特的高级体系结构,它将超精细的精度、精度和控制与可靠的低维护设计相结合。它特别具有双压力室和单容器操作功能，可实现易于监测和调整的高效蚀刻工艺。该装置还采用了专利、集成的蚀刻和腐蚀控制系统，显着减少浪费，提高吞吐量，提高工艺质量。该系统通过控制温度、压力和流量来操作，以优化蚀刻的处理，并设计为提供一致且可重现的性能。MICROETCH 1201还提供多种蚀刻和粉刷工具及配件，包括等离子体和激光蚀刻工具、离子蚀刻工具和高分辨率光刻工具。这些工具旨在帮助最大限度地提高流程效率并促进可靠的特征复制。该单元还提供一系列集成支持系统，如流程控制软件和离线监控软件，为用户提供流程参数的实时反馈。1201还具有自动盒式磁带传输系统,可帮助降低底物到底物的可变性并提高工艺的均匀性。总体而言，VEECO/MICROETCH 1201是一种用于先进半导体制造和微电子工艺的可靠和高效的蚀刻器/灰化器。该单元旨在为用户提供一致、精确的蚀刻结果,减少停机时间并提高工艺产量。