二手 VEECO / MICROETCH 1201 #293628796 待售

VEECO/MICROETCH 1201是一种深层等离子体蚀刻器和灰化器，设计用于先进的等离子体蚀刻、灰化和深层反应性离子蚀刻（DRIE）应用。该设备设计用于研究、开发和工业生产等多种行业。VEECO 1201具有坚固可靠的设计，MICROETCH 1201占地面积小，几乎适合任何实验室环境，使得小部件的电镀和蚀刻变得容易。该系统为复杂的光刻执行一系列蚀刻工艺，包括深蚀刻/离子铣削、IC/MEMS蚀刻、半导体蚀刻、激光烧蚀和微制造工艺。1201通过其先进的车载人工智能（AI）和微处理器对蚀刻工艺进行精确控制。AI单元自动优化蚀刻参数，并精确控制过程的吞吐量。该机器能够用各种气体进行蚀刻，包括碳氟化合物、甲烷、氮气和氧气。VEECO/MICROETCH 1201还具有两个独立的电源,可以同时执行多个蚀刻任务。该工具使用低压充气室和直接驱动的基板平台，以尽量减少污染和表面损坏。VEECO 1201的内室设计为热稳定性、与外部压力隔离以及安全的大气环境。MICROETCH 1201还通过使用快速覆盖气体控制来帮助减少停机时间,确保蚀刻过程的快速可靠吞吐量。在1201年,用户可以使用广泛的过程监控和数据采集工具,例如蚀刻剂的实时光谱、飞行时间质谱以及基本和高级的过程控制,以使用户能够对过程进行微调。对于先进的研究应用，VEECO/MICROETCH 1201提供了一个集成的光谱平台来测量等离子体的质量通量、底物温度和寿命。此外，该资产还配备了多视图光纤显微镜，用于监测蚀刻结果。总之，VEECO 1201是一种可靠、直观的蚀刻模型，可以容纳广泛的蚀刻过程。它具有用户友好的界面，并具有可靠的组件和功能，以确保每次都有一致和精确的蚀刻。MICROETCH 1201设备使用户可以访问各种监控和高级过程控制工具,以微调等离子体蚀刻过程并获得对其蚀刻任务的更高级别的控制。