二手 VEECO / MICROETCH 1201 #9354607 待售

VEECO/MICROETCH 1201是为各种先进材料工艺而设计的最先进的蚀刻器和asher设备。它通过其独特的模块化设计提供了灵活性和适应性，从而实现了广泛的应用。该蚀刻器具有无应力、可重复和高度可靠的结果,在各种工艺温度和时间范围内都具有精确度和一致性。柔性Asher设计允许喷嘴位置和温度范围的变化,以便进行最佳蚀刻.此外,VEECO 1201增强的光学系统允许在整个晶片上进行光学增强的均匀处理。MICROETCH 1201还提供了大型晶圆处理功能和7英寸旋转支撑夹具，用于均匀蚀刻和灰化。该模型还具有三维电极基板的扩展平台。它包括一个尖端真空泵以及用于晶圆处理的手动和机器转移能力。1201能够支持化学和物理过程，可以蚀刻和粉刷各种材料，包括硅，石英，叶沙林，铝和铜。它非常适合单层和多层流程,以及高温或低温流程和其他高级应用程序。这种蚀刻/灰化装置具有较大的负压操作范围，以便在加工敏感基板时获得最佳效果。它还包括一个光学显微镜，用于过程监测和测量蚀刻深度和轮廓。VEECO/MICROETCH 1201提供水性和有机反应性气体输送系统，在蚀刻和粉刷各种基材和材料时具有灵活性。它还拥有非常精确的控制和监控与PC和RS422接口控制.此外，VEECO 1201还内置了安全功能，包括多个溢流通道和保护电路，以减少危险物质泄漏造成的潜在损害。MICROETCH 1201是一款高级蚀刻器/asher,可提供性能、准确性和灵活性,以满足要求最苛刻的应用程序。凭借其可重复的结果、扩展的基板处理能力和工程设计的安全特性,这台机器是单层和多层蚀刻和灰化过程的理想工具。