二手 VEECO Microetch LL250 #9100793 待售

VEECO Microetch LL250是为半导体和MEMS/NEMS应用中的材料蚀刻和灰化而设计的高级蚀刻器/灰化器。它具有开放访问配置,可以更快地加载和卸载基板,以及集成控制器、软件驱动的配方参数和用于直观编程的触摸屏界面。它还提供了广泛的过程参数和功能，以满足各种应用程序的要求。VEECO LL 250装有一个带陶瓷绝缘材料的热控工艺室，旨在确保加热和冷却均匀，结果更加一致。它装有提供精确基板定位的x-y扫描仪，而精密的微阀喷嘴则提供高速生产和优越的选择性和均匀性。此外，该单元还包括一个现场系统，允许对关键工艺条件进行实时监测和控制。MICROETCH LL 250采用高性能、多处理器控制系统,可提供精确和可重复的过程控制。它提供了先进的电源管理和诊断,以确保一致和可重复的结果,同时还提供了自动校准显示器,可减少维护时间。此外,该设备还包括许多诊断和预防性维护功能,以帮助随时间推移保持性能。此外，VEECO MICROETCH LL 250具有多项安全功能。这包括过温保护、反应物管理和自动气体关闭，以防止在工艺故障时气体泄漏。此外，该装置还配备了安全的物理屏蔽装置以及光学和气体传感器，旨在探测和防止易燃气体浓度。LL 250是高精度蚀刻和灰化工艺的理想选择。它提供了广泛的工艺功能、直观的控制和可靠的性能,使其成为半导体和MEMS/NEMS应用程序中蚀刻和灰化操作的绝佳解决方桉。