二手 VEECO Microetch RF 350 #9244343 待售
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VEECO Microetch RF 350是一种等离子体蚀刻器/asher,提供高分辨率的等离子体蚀刻和一系列材料的灰化。使用专有的13.56 MHz频率,此蚀刻器/asher可提供卓越的速度、均匀性和选择性,用于蚀刻/研磨过程。再者,它具有标准微型卡盘的机械晶片处理设备,适合各种腔室配置,达到优越的性能。该蚀刻器/asher利用射频等离子体蚀刻和灰化工艺来创建具有精确蚀刻图样的高质量曲面。其高功率射频蚀刻电源提供了极好的再现性,以保证高质量和可重复的结果。此外,其精确的羽流控制有助于减少加工时间,同时提供准确的蚀刻速率。此外,该蚀刻器还配备了自动基板清洗和可变压力系统,用于进一步的工艺优化和无缺陷蚀刻。在安全性方面,Microetch RF 350具有互锁装置,并带有排气口和泵保护,以确保蚀刻过程不受等离子体引起的损害。此外,先进的压力和温度控制为用户提供了满足其期望的安全标准的能力。该蚀刻器还包括一个泄漏探测器,用于提高安全性和识别任何潜在的危险材料,例如含氯气体泄漏。为了最大限度地方便用户,VEECO Microetch RF 350包括直观的用户界面面板和可编程设置。此蚀刻器/asher还具有高级数据日志记录功能,允许用户轻松存储和分析蚀刻参数、配方和蚀刻产量。此外,通过远程服务连接,操作员可以快速轻松地诊断计算机的任何问题。总体而言,Microetch RF 350是一种用于蚀刻或粉刷各种材料的理想蚀刻器/粉碎器。它具有高功率、选择性、速度和均匀性,能够以最小的努力产生高质量的蚀刻结果。此外,其先进的安全性和用户友好的特点使其成为工业和研究应用的完美选择。
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