二手 VEECO Microetch #9255813 待售

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ID: 9255813
Ion beam milling machine.
VEECO Microetch是一款高效、可靠的蚀刻和灰化机,设计用于对包括二氧化硅(SiO2)、金属、玻璃和有机聚合物在内的各种材料进行高精度蚀刻。这台机器是精密微观结构和精细图桉蚀刻的理想之选.它采用了最新的微蚀刻技术,深度精度和可重复性优于传统的湿蚀刻。利用完全优化的光加热和当前可操作的工艺,Microetch机器可以最大程度地控制任何材料的蚀刻,从而实现更可靠和精确的光刻蚀刻工艺。VEECO Microetch机的设计由一个密封的加工室和两个吸入气体的真空泵组成,抽出蚀刻过程的气态结果。由计算机控制的X-Y级在电极之间移动掩码,在其中进行蚀刻/灰化过程。该腔室可设置在室温至低至-60°C的温度范围内运行。在加工过程中还可使用离子淋浴以保持清洁和防止晶片表面受到污染。通过控制材料的沉积,实现了微蚀刻机卓越的深度精度。这是通过使用可调、可编程的射频功率设置和可调离子淋浴强度来调节的。蚀刻时还使用无漂移电极限制蚀刻区域的深度。精密控制还包括用电流测量的光束监测和控制整个过程速率的运动速度选择器。该机还具有各种其他可定制的参数,如脉冲持续时间和光束数。VEECO Microetch机是生产先进电子材料超精密蚀刻的可靠工具。它对于处理二氧化硅、金属、玻璃和有机聚合物等多种材料是非常精确、高效和优化的。该机采用可调参数设计,用户可以为其应用控制和定制流程。蚀刻结果具有很高的可重复性,使用离子淋浴,蚀刻过程不受污染。微蚀刻机是创建先进、精密、结构精细、蚀刻完美的表面所必需的工具。
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