二手 XACTIX E1 Mod #9174878 待售
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ID: 9174878
晶圆大小: 6"
优质的: 2004
XeF2 (xenon difluoride) Isotropic silicon etcher
Photo-resist
Silicon dioxide
Silicon nitride
Aluminum
2004 vintage.
XACTIX E1 Mod是一种为实验室应用而设计的蚀刻器/asher，例如电子、光学和MEMS设备的制造。它是一个不锈钢平台，带有2.5英寸x 2.5英寸石英蚀刻室，在用户友好、经济实惠的包装中提供蚀刻和灰化功能。E1 Mod在经验丰富的应用程序和新手应用程序中均具有卓越的鲁棒性、精确度和耐用性。XACTIX E1 Mod采用顶级材料制造,具有石英蚀刻表面,可抵抗基板损坏或粘附、非导电表面、长期运行的工艺以及加热性能,最高可达500 °C。它还具有高功率射频发电机，与传统的热蚀刻相比，具有更高的蚀刻产量和更好的蚀刻质量。E1 Mod专为易于使用和可靠性而设计,具有触摸界面、直观的命令结构和双位数压力/温度显示屏。它还具有顶端射频连接，以提高过程的可重复性和等离子体参数的快速频率微调。最后,XACTIX E1 Mod配备了一个全外围设备中心,可连接到外部系统和设备,从而可以无缝集成到现有的实验室设置中。总而言之,E1 Mod是一个可靠、经济高效且强大的平台,非常适合经验丰富的新手和新手。XACTIX E1 Mod凭借其一流的材料、卓越的精确度和用户友好的界面,是各种实验室蚀刻/切割/抛光/清洁工艺的完美解决方桉。
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