二手 YES / GLEN R1 #9135632 待售

YES/GLEN R1是一种脉冲等离子体灰化设备，用于各种先进的基板蚀刻应用。它基于自诱导等离子体过程的原理，利用电流运动产生的等离子体场在材料和气体分子之间产生反应。这意味着需要最少的化学反应物，创建一个更安全、更具成本效益的工作站。在设计上，YES R 1由一个不锈钢真空室、一个感应耦合射频产生系统、一个气体入口单元、一个增压机、一个水冷却工具和一个基板级组成。可容纳八种底物的真空室提供了发生自诱导等离子体过程所必需的环境。射频生成资产向基板施加高频交流电流，产生脉冲等离子体场。气体入口模型包含一个质量流量控制器和一个气体压力调节器，有助于控制蚀刻气体进入腔室的压力和流量。增压设备可以实现比大气压力中更高的压力，而水冷却系统则用于冷凝反应蒸气，并从腔室和射频发电机组中提取热量。基板级可根据应用情况进行加热和冷却,可调节以使工件相对于等离子体场处于最佳位置。就其应用而言，GLEN R-1可用于一系列蚀刻和研磨工艺，如照片蚀刻、阳极氧化和干膜层压。可用于多种金属，包括铜、不锈钢、铝、钛等。它还能够执行从软退火到拉伸退火的各种退火过程。总之，GLEN R1是一种先进的脉冲等离子体灰烬，它的能力高度通用，在操作上非常有效。它易于使用,维护成本低,是任何蚀刻实验室的理想资产。