二手 YES / GLEN R1 #9172427 待售
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YES/GLEN R1是设计用于电子和半导体行业的蚀刻器或asher。它是一种全自动蚀刻设备,利用反应性离子一次蚀刻多层的有机和无机材料。该系统的核心是使用电离气体的专有教育喷嘴、沉积单元和基于CCD相机的成像机。教育喷嘴包含一个产生等离子体场的场发射源。该场的核心是反应性气体,由惰性气体和氧或氟等反应性气体组成。喷嘴将等离子体场加速出喷嘴,并产生与底物相互作用的离子射流。这些离子蚀刻到材料中,在分子水平上除去它。工具的第二个组成部分是沉积资产,它可以在基板顶部添加金属、塑料、陶瓷等材料层。沉积模型使用热蒸发和化学气相沉积来添加所需材料的涂层。这些工艺与蚀刻工艺相结合,完成基板的多级加工。最后,成像设备对蚀刻沉积过程提供实时视觉反馈。这是通过CCD摄像机完成的,CCD摄像机从多个角度提供过程图像,显示蚀刻层。这种实时监测确保了蚀刻和沉积过程的准确性,并能够对系统进行更精确的控制。总体而言,YES R1 蚀刻器/asher是电子和半导体行业的高效创新工具。可用于创建精密、精密的多级蚀刻沉积工艺。
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