二手 YES / GLEN R3 #9193375 待售

YES/GLEN R3是一种高精度的asher或蚀刻器，用于纳米加工。它在蚀刻过程中提供了良好的参数均匀性，设计用于干式和湿式蚀刻技术。其多用途的设计使得各种工艺参数能够准确快速地设置，以进行高精度蚀刻。设备本身由几个单元组成，包括等离子体控制器、电源、以太系统、升降台和控制台。其独特的以太单元采用低压、低电流、低温电离气体溷合物，通过多个喷射器送入加工室内，允许基材均匀蚀刻。等离子体控制器设计用于提供样品上的最小溅射和电离的精确控制，允许精确调整蚀刻参数。电源允许精确控制电流和电压，并能够为过程提供稳定的信号。升降台用于在蚀刻过程中定位样品,并且能够将基板升高或降低到正确的蚀刻位置。通过使用可调表，可以精确蚀刻不同厚度和成分的基板。控制控制台用于设置和监视蚀刻过程参数。它允许您更改分配给蚀刻样品的时间、蚀刻过程的选择性、蚀刻室的温度以及其他参数。与其他类型的纳米加工蚀刻系统相比，YES R3以低温低压操作以及控制和监测蚀刻过程的精确度而闻名。此外,它是一种高度可靠和持久的机器,几乎不需要维护,而且允许使用多种可能的应用方桉。