二手 YES / GLEN R3A #293601248 待售
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已售出
ID: 293601248
优质的: 2001
Plasma cleaner
PLC Controller
ADVANCED ENERGY PE-1000 AC Plasma power source, 1 kW at 40 kHz
(2) Electrodes: 14" x 14" (Capable of up to 8 sample trays)
RS 232 Interface
(3) Plasma modes:
Active plasma
RIE Plasma
Downstream electron-free plasma
Gas inputs:
(2) Process gases
Purge gas
Full load current rating: 13 Amps
Power supply: 110 V, 500 W, 60 Hz, Single phase
2001 vintage.
YES/GLEN R3A是一种坚固可靠的蚀刻器/asher设备,旨在支持各种蚀刻/研磨过程。它结合了高级硬件和软件以提供一致的高质量结果。该系统建立在定制设计和测试的底盘上，底盘由耐酸不锈钢组成，并配有耐腐蚀连接器。它装有一个防腐阳极和一个散热器，用于除热和不需要的氧化。设计的灵活性允许它同时用于蚀刻和灰化应用。该单元的核心由两个先进的蚀刻/灰化电子设备组成：一个可调波形发生器和一个可调高压电源。发电机控制蚀刻/灰化过程的波形，允许精确优化功率输出和蚀刻/灰化参数。高压电源紧紧控制着机器的电源输入，在整个处理序列中提供均匀的功率参数。这确保了可重现的蚀刻/灰分结果和结果的高重现性。高级软件层进一步支持硬件,该层提供直观、用户友好的操作界面。软件层允许用户调整和设置工具上的参数，以满足不同的需求，如蚀刻速率、选择性、均匀性和可重复性。它还提供了更改的可追踪性和一系列其他有用的功能。YES R3A结合了高级硬件和软件,提供了功能强大、可靠的蚀刻器/asher资产。它易于安装和使用,并且能够获得一致的高质量蚀刻/灰化结果。其可调波形发生器和高压电源确保了整个过程中均匀的功率参数，产生了可重现的蚀刻/灰烬结果，其直观的用户界面为一系列不同的需求提供了简单、有效的控制。
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