二手 YES / GLEN R3A #9124008 待售
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ID: 9124008
优质的: 2000
Low frequency plasma cleaner
PLC Controlled - PE1000
Power supply - 500 W system
Capable of up to 8 sample trays - 14" x 14"
(2) 14" x 14" Electrodes
(3) Plasma modes RS232
CE Compliant
(2) Gases
(1) Purge
110V, 60 Hz
Single phase (3) wire
13A
2000 vintage.
YES/GLEN R3A是一种专为生产溷合集成电路基板而设计的高性能、精密的蚀刻器/asher。它设计为在一个工作站中提供功能和钻孔/蚀刻。YES R3A有一个专利双轨系统，具有加热蚀刻站，以及一个单独的钻头。这样可以提高基板蚀刻和钻孔操作的吞吐量和精度。加热的蚀刻站允许蚀刻剂在一次操作中从基板上去除介电材料，从而实现精确的孔位。此外，这个加热蚀刻站有助于防止飞溅堆积引起的介电短裤的形成。GLEN R 3A还提供可调蚀刻深度,可以0.0004"为增量编程和监控。精确深度控制允许用户在同一基板上运行多个通道，而不必担心过度蚀刻暴露。这对于需要精确公差的生产应用是有益的。提供了一个可编程数据端口,用于与R3A控制器进行通信,从而实现了易于处理的设置以及对蚀刻过程的精确控制。双轨系统有一个单独的钻头，允许功能和钻头/蚀刻。钻头由无刷直流电动机驱动,可提供更大的马力、快速加速和高扭矩。钻头可以自动从一个孔移动到另一个孔,从而实现更快的吞吐量速率。YES/GLEN R 3A是为高通量蚀刻和钻探作业而设计的最先进的蚀刻器/asher。它具有获得专利的双轨系统、可调节的蚀刻深度、可定制的程序以及由无刷直流电动机驱动的钻头。GLEN R3A是生产溷合集成电路基板的理想选择.
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