二手 YOKOGAWA Rainbow 4420 #9111383 待售

YOKOGAWA Rainbow 4420是一款高效的蚀刻和灰化设备，广泛应用于微电子学和精密工程过程中。该系统具有执行各种蚀刻和灰化过程的能力，包括等离子体蚀刻、干蚀刻、湿蚀刻、干灰化以及氯基蚀刻和灰化。该单元具有广泛的可编程特性和功能，使用户能够准确控制蚀刻和灰化过程。Rainbow 4420配备了脉冲面蚀刻室，使其能够执行各种蚀刻和灰化工艺。这个腔室利用高频和低频振荡来维持稳定的蚀刻环境，减少腐蚀性气体副产物的产生。Pulsed Facet蚀刻室还包括一个内置的Strip Tool，旨在方便地从蚀刻区去除金属和非金属材料如Ta、Titanium和Silicon。YOKOGAWA Rainbow 4420具有独特的等离子体蚀刻SUS316SS材料室。这种材料以优异的耐热和耐化学性能着称。SUS316SS材料能有效保护工件免受蚀刻过程中产生的任何化学残留物或杂质的侵害。腔室的内表面是耐腐蚀的，设计用于所有类型的蚀刻和灰化过程。彩虹4420还有一个基板加热板，可以用来加热基板之前和之后蚀刻或灰化过程。基板的温度可以通过恒温加热机精确控制。该工具可达到600 °C的温度,非常适合CVD/ALD、分离过程和氧化物或氮化物蚀刻等任务。此外,YOKOGAWA Rainbow 4420还具有半自动工艺关机功能,可用于在预定时间后停止蚀刻或灰化工艺。此功能有助于确保安全高效的蚀刻操作,同时避免任何有害的副作用。Rainbow 4420还具有高级流程控制资产（APCS）,其中包括一套旨在提供最大性能的软件组件。此模型包括"端点控制"、"速率控制"、"保持角度控制"和"磁带切割角度控制"等组件,这些组件使用户能够准确地对蚀刻和灰化任务进行编程。YOKOGAWA Rainbow 4420是一种高度可靠和高效的蚀刻和灰化解决方桉，适用于各种精密工程和微电子操作。这种设备提供了许多可编程的特性和功能，使用户能够准确地控制和监视蚀刻和灰化任务。