二手 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293642899 待售

YOKOGAWA Rainbow 4720是专门为Asher-type工艺应用而设计的蚀刻器/asher。这种蚀刻器/灰化器能够在硅和玻璃等基板上提供均匀的蚀刻和薄层沉积。Rainbow 4720的设计包括一个内置的过程室，以及各种组件，以方便高效的过程控制。这包括一个精密位置锁，用于蚀刻高达30°倾斜角，一个双角提升机构，方便调整工艺角度，以及内置温度传感器，用于精确的温度控制。蚀刻沉积过程以热蒸发为基础，可根据基材的蚀刻/沉积要求，通过调试熔炉温度和等离子体输出进行微调。此过程可应用于大型表面（如晶片）或基板的小区域以创建微观结构。YOKOGAWA Rainbow 4720还包括一个用户友好的软件界面，允许轻松操作和数据管理。Rainbow 4720的腔室配备了低噪声真空预泵和额外的组件，用于出色的工艺控制。这包括一个噪声抑制系统，以减少蚀刻过程中发出的噪声，以及用于控制水/气体流向腔室和基板的内置水/气流调节器。蚀刻器/asher还附带各种可选部件,例如基板加热单元,以创建不同的工艺配置文件。YOKOGAWA Rainbow 4720旨在实现具有高质量结果的可重现工艺,这使其成为要求精确和可重复性的苛刻蚀刻/沉积应用的绝佳选择。该蚀刻器/asher的设计重量轻,脚印小,便于操作和维护。凭借先进的技术、内置的安全措施和用户友好的软件,Rainbow 4720是一个出色的用于实验室和生产过程的蚀刻/沉积系统。