二手 YOKOGAWA Rainbow 4720 #293643500 待售

YOKOGAWA Rainbow 4720是一款灵活通用的干式蚀刻器/灰化器,专为高级工艺而设计,在制造下一代半导体器件时实现了更高的吞吐量和产量。这款高性能蚀刻器/灰泥设备的最大蚀刻/灰泥面积为12.7厘米,最大基板尺寸为8英寸。极低的维护成本使蚀刻操作更有效率和成本效益。Rainbow 4720是一款等离子蚀刻器/asher，为Si、GaAs、SiC和SiGe等多种材料提供应用。它还允许高通量的过程，如低温年鉴和快速溷合键合。YOKOGAWA Rainbow 4720以其高速二氧化碳（CO2）气流提供了较高的蚀刻速率，从而能够在很短的时间内处理各种材料。Rainbow 4720能够在整个基板上实现高水平的过程均匀性，即使腔室面积有限。它还具有气流、射频功率、工作压力等蚀刻参数的可变控制，以实现高分辨率蚀刻操作。而且，YOKOGAWA Rainbow 4720具有可追溯的蚀刻记录和可重复的工艺结果，允许高度的工艺控制和重现性。Rainbow 4720拥有先进的高级数据库管理系统，用于流程控制和跟踪。这样就可以有效地并行处理和快速监控过程中的数据。可以从单个用户界面查看所有数据,并且可以在安全的环境中轻松与其他用户共享数据。蚀刻器/灰化器还具有许多安全功能,可防止发生任何事故,例如在气体泄漏、气流和压力错误时自动关闭。此外，YOKOGAWA Rainbow 4720的内部单元可以在流程参数达到临界水平时发送警报。Rainbow 4720是一款先进可靠的蚀刻机/asher机,易于升级以满足更新的工艺要求。它专为满足最先进工艺的需要而设计，以便于制造高性能半导体器件。它具有很高的工艺均匀性和灵活性，是半导体工业应用的理想解决方桉。