二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600E #9059480 待售
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ID: 9059480
晶圆大小: 2 to 6
优质的: 2011
Metal evaporator, 2"-6"
Includes:
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm) manufacturing process with optimum reliability
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20℃, 30 l/min
2011 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600E蒸发器是一种高效可靠的蒸发器,旨在在各种商业和工业应用中提供卓越的热性能。该蒸发器的设计和制造符合安全、耐用性和效率的最高标准。AST Peva-600E蒸发器配备了密封闭环系统，允许水循环，而不会带来明显的蒸发损失。蒸发器采用先进的微型计算机控制（MC-C）技术，有助于监测和调节蒸发器的运行和温度。这样可以提高设备的性能,并确保其安全可靠。此外，该装置还设计有自动补水机，有助于防止蒸发器出现任何不必要的超载。ADVANCED TOOL TECHNOLOGY Peva-600E蒸发器能够在各种能源上运行,包括气体、电力和蒸汽。这可以让使用者选择最具成本效益和效率的方式来操作蒸发器。在能源效率方面，Peva-600E蒸发器的额定能效比为14.3。这使得它非常适合具有中等至重型需求的应用程序,并有助于最大限度地节省能源。与其他类似容量的蒸发器相比，蒸发器的传热速率提高了。此外，它还能够产生低压降、精确的温度控制和更好的冷却效果。AST/ADVANCED ASSET TECHNOLOGY Peva-600E蒸发器采用高级热力学铝基外壳设计,有助于确保耐用性和使用寿命。这使它能够承受恶劣的操作环境,并有助于确保设备的安全。此外，这种耐腐蚀外壳使其能够提供可靠的性能，并在较长时间内保持最佳温度水平。AST Peva-600E Evaporator还设计了一个内置的自我诊断模型，帮助监测其性能并检测蒸发器可能出现的问题。该设备将自动提醒用户蒸发器出现任何故障或其他问题,从而使用户能够采取纠正措施并保持系统平稳运行。此外，该装置还配备了紧急关机，必要时可启动。总体而言，ADVANCED TOOL TECHNOLOGY Peva-600E Evaporator是任何寻找高效蒸发器的商业或工业环境的理想选择。其先进的技术、高效的操作和内置的安全特性使其成为值得信赖和可靠的选择。此外，它的紧凑设计和耐腐蚀外壳使得它非常适合任何空间可能有限的环境。
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