二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9059482 待售
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ID: 9059482
优质的: 2012
ITO Evaporator
(1) Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe, etc.)
(2) Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
(3) Optimum evaporator chamber and pumping system design, effectively reduce cycle time and increase material usage (> 20%)
(4) Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm)
(5) Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6")for Planetary Domes
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min
2012 vintage.
AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY Peva-600I Evaporator是为高效空调和制冷系统设计的AST。它是一个独立的空气冷却装置，使用紧凑的ampac（氨蒸气压缩机）来冷却空气，同时降低空间的空气湿度。该单元可提供最佳能量输出的高效冷却。这种蒸发器非常适合温度在-20至35摄氏度之间的工业应用。AST Peva-600I Evaporator是一种可靠、智能的技术，采用坚固的技术聚合物墙和坚固的框架构成，以确保它能够在困难的环境中运行。它被设计成能够有效地从空气中传递热量，从而实现高效的冷却能力。该单元使用集成的冷凝液平底锅系统捕获和清除多余的冷凝液堆积，同时防止微生物和腐蚀损害。风扇速度可调，确保保持舒适、一致的气温，实现高流量。ADVANCED UNIT TECHNOLOGY PEVA 600I Evaporator带有内置LED显示屏,可轻松精确地进行诊断和温度控制。用户可以轻松调整温度设置以匹配所需的冷却效果,同时选择诊断代码可以进行简单方便的故障排除。分流块特性允许提高流量和使用多个蒸发器在一台机器中独立运行。此功能允许各种蒸发器串联堆放以提高冷却能力,从而增加了可用的浪涌体积。AST PEVA 600I蒸发器的设计考虑了安全性.它利用传感器检测工具故障,并向用户发出任何潜在问题的警报,如高压或低压、气流减少或温度不平衡。它还包括集成的自我诊断和警报,用于检测操作违规并向用户发出任何故障警报。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY Peva-600I Evaporator是一种可靠、高效、强大的空调和制冷模型。它是工业应用的理想解决方桉,需要安全、坚固、可靠的空气冷却设备,并且能以最小的耗电量运行。该单元提供高效率、耐用性和安全性,以及易于安装和维护。
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