二手 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Peva-600I #9073292 待售
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ID: 9073292
优质的: 2009
ITO Evaporator
Multi-Layers Lift-Off process requirements (Ti, Al, Ni, Au, Cr, AuGe)
Run to Run film uniformity control under % to ensure overall product yield
Material usage: > 20%
Special design fixture dedicated to thin slice (<100mm)
Full automatic, intelligent PC control system
Specifications:
Wafer Numbers / Sizes: (108 -15) pcs / (2"- 6") for Planetary Domes
E-Beam Power: From 6 ~10 kW (Option)
Ultimate Pressure: < 1E-7 Torr
Based Pressure: 2E-6 Torr within 30 mins
Pumping System: Cryopump + Rotary Vane Pump or Dry pump (Option)
Automatic Control System: Industrial HMI with Graphic User Interface or Fully PC Interface Operation (Option)
Thickness/Rate and Process Control: RS-232 interfaced Real Time Controller including Sweeper, Indexer, Material, Tooling Factor, Soak, Ramp and Shutter
Substrate Temperature Control: RT ~ 350 ℃
Non-Uniformity: 5% for WIW, WTW and RTR
Power Requirement: AC220V, 3 phase, 60 Hz, 80A,
Dry N2 Requirement: 1.2 kgw/cm2
CDA Requirement: 5 kgw/cm2
Water Requirement: 1.5 kgw/cm2, 20 ℃, 30 l/min
2009 vintage.
AST/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY AST/ADVANCED EQUIPMENT TECHNOLOGY Peva-600I是专为严重工业应用而设计的它具有创新的设计,可提供快速、高效的操作、卓越的性能和较长的使用寿命。蒸发器的优化设计基于专利的内鳍系统、重型冷凝器和坚固的外壳。内鳍单元是AST Peva-600I蒸发器的关键特性，使其能够快速传递超过市场上其他蒸发器的性能。利用绝缘蒸汽管道和高效冷却板等创新工程技术，蒸发器能够最大限度地实现冷凝，最大限度地减少能耗。此外，内鳍机提供了更大的表面积和最小化的空气阻力，导致高冷却速率至750 °F和高传热效率。鳍片工具配备了重型结构，在坚固耐用的操作条件下具有最大耐用性。ADVANCED ASSET TECHNOLOGY PEVA 600I还配备了强大的冷凝器,使其能够在更高的温度下运行。冷凝器采用耐腐蚀不锈钢和连续鳍片结构设计，以确保持久的操作和卓越的效率。坚固耐用的结构确保了冷凝器能够处理高温和延长的生命周期性能。ADVANCED MODEL TECHNOLOGY Peva-600I蒸发器的外壳由高度耐用和有弹性的材料构成，在极端条件下提供卓越的保护。外壳设计用于防止灰尘、水分和蒸气影响蒸发器的性能,并有助于在较长的使用寿命内保持最佳性能。为保证峰值效率和安全,先进设备技术/先进系统技术AST/先进系统技术PEVA 600I蒸发器符合严格的行业标准。它预先配备了最先进的安全功能和控制,例如安全开关、温度安全阀和减压阀,以最大程度地减少过冷和/或过热的机会。此外,蒸发器还配备了一系列控制和监控系统,使用户可以轻松监控温度、压力和其他操作条件。AST/ADVANCED UNIT TECHNOLOGY/ADVANCED SYSTEMS TECHNOLOGY Peva-600I EVAPORATOR是一种先进创新的蒸发器,在严重的工业应用中提供高效可靠的性能其优化的设计和严格遵守安全标准，使其成为市场上首屈一指的蒸发器之一。凭借其高效的运行、卓越的性能和较长的使用寿命,PEVA 600I将使用户能够充分利用其冷却系统。
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