二手 DENTON VACUUM Explorer 14 #293774927 待售
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ID: 293774927
Sputtering system
Deposition chamber:
Chamber and control cabinet
304L Stainless steel chamber (14" wide x 18" tall)
Substrate size capability: 100 mm Ø
Magnetron capability: Up to 3" target diameter
Internal chamber deposition shield
Deposition chamber pumping:
Turbo pump and controller range: 620 l/s
EDWARDS XDS10 Dry scroll pump
High vacuum
3-Position gate valve
Vacuum gauging and process gas control:
Pirani/Bayard-Alpert gauge transmitter/Bayard-Alpert gauge transmitter
Ceramic capacitance manometer: 1 TORR FS
(2) Mass flow controller (Ar and N2)
MKS Controller
Sputter sources:
(3) 2.0" Diameter, internal "stalk-mounts"
(3) Flex type, planar magnetron sputter sources
Direct cooled for Ti
(3) Independent electro-pneumatic cathode shutters
Control and automation:
Color touch panel control and graphical status display
Multimode capabilities: Auto pump, auto vent, manual, automatic
Substrate stage: RF Bias
DVI RF Bias, 100 mm substrate stage assembly
RPM: 0-20
Sputter power supplies:
DC Power supply: 1 kW
RF Power supply: 300 Watt
DC Switch A/B select.
DENTON VACUUM Explorer 14是一种先进的薄膜沉积设备，俗称蒸发器。这种尖端仪器设计用于在高真空环境下通过物理气相沉积（PVD）的过程制造各种材料的薄膜。Explorer 14由DENTON VACUUM制造，DENTON VACUUM是以创新技术和卓越性能着称的薄膜沉积设备的领先供应商。DENTON VACUUM Explorer 14配备了广泛的特性和功能，使其非常适合微电子学、光学、材料科学等领域的研究和工业应用。该系统设计用于薄膜沉积的精确控制和均匀性，使研究人员和工程师能够实现附着力优良、厚度均匀的高质量薄膜。Explorer 14的关键特征之一是它的多用途沉积源，包括电阻性热蒸发源、电子束蒸发源和溅射源。这些来源使用户能够沉积各种材料，包括金属、氧化物和氮化物，对沉积速率和薄膜特性有特殊的控制。该单元还兼容多种基材尺寸和形状，使其适合广泛的样品类型和应用。DENTON VACUUM Explorer 14配备了先进的真空泵送和压力控制系统，以创造和维持薄膜沉积所需的高真空条件。该机包括高速涡轮分子泵和干式涡旋泵，共同实现并保持超高真空范围内的基本压力。一种先进的气流控制工具促进了精确的压力控制，该工具允许用户在沉积过程中调整气体流量和组成。Explorer 14具有用户友好的界面和软件控制资产,可轻松操作和监视沉积过程。该模型可以编程为自动执行复杂的沉积序列，允许用户为特定的薄膜结构和属性创建定制的沉积配方。通过设备的直观软件界面，对沉积速率、薄膜厚度、底物温度等沉积参数进行实时监控。DENTON VACUUM Explorer 14除了具有先进的薄膜沉积能力外，还设计了易于维护和可维护性。该系统包括符合人体工程学的设计功能，例如易于使用沉积源和真空组件，以及简化组件更换和升级的模块化结构。DENTON VACUUM提供全面的技术支持和培训，帮助用户最大化Explorer 14的性能和正常运行时间。总体而言,DENTON VACUUM Explorer 14是一个最先进的薄膜沉积单元,为广泛的研究和工业应用提供卓越的性能、多功能性和易用性。凭借其先进的特性和功能,Explorer 14是研究人员和工程师的宝贵工具,他们希望创建具有精确控制和可重复性的高质量薄膜。
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