二手 KURT J. LESKER Sputtering E-Beam and thermal evaporation system #293817759 待售
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ID: 293817759
Roughing pump
Turbo pump
2 VAT gate valves
Cryo pump
Mass Flow Controllers (MFCs)
Power supplies.
KURT J. LESKER溅射电子束和热蒸发设备是一种先进而通用的蒸发器,设计用于研究和工业应用中的薄膜沉积过程。该系统采用溅射、电子束蒸发和热蒸发技术相结合,在各种基材上实现精确均匀的薄膜涂层。该单元的核心是溅射模块,利用高能等离子体轰击目标材料,导致原子或分子被喷射并随后沉积到基板表面。这一过程受到高度控制,可以沉积各种材料,具有良好的附着力和覆盖性能。溅射模块配备了多种目标材料,使得复杂的多层结构和合金成分得以沉积。除了溅射外,机器还具有电子束蒸发源,利用高能电子束熔化和汽化目标材料。蒸发后的材料凝结在基板上,形成薄膜涂层。电子束蒸发以沉积速率高、均匀性高而着称,非常适合沉积厚度控制精确、膜质量优良的薄膜。与溅射和电子束蒸发技术相辅相成的是热蒸发模块,它通过在高真空环境中抗热加热目标材料直到达到汽化温度来运作。然后将蒸发的材料指向基材,在那里凝结形成薄膜层。热蒸发适合于沉积多种材料,包括金属、氧化物和有机化合物,特别适合于较低温度下的薄膜生长。KURT J. LESKER蒸发器工具具有先进的沉积控制能力,如对沉积速率、厚度均匀性和薄膜组成的实时监测。资产配备了全面的软件界面,允许用户对沉积配方进行编程,调整过程参数,实时监控沉积进度。此控制级别允许精确调整薄膜特性,如厚度、组成和微观结构,以满足特定的应用要求。此外,该模型设计具有高度的自动化和用户友好的操作,允许高效和可重现的薄膜沉积过程。设备配有安全联锁、真空监测系统和先进的沉积技术,以确保可靠和可重复的结果。此外,该系统还可与其他模块集成,如基板加热、现场监测和多目标能力,以进一步扩大其能力和多功能性。总体而言,溅射电子束和热蒸发装置是一种最先进的蒸发器,为各种材料和应用提供了一套全面的薄膜沉积技术。该机具有先进的控制功能、自动化能力和多功能性,是研究人员和制造商寻求具有定制性能的精确可靠薄膜涂层的理想选择。
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