二手 LEYBOLD HERAEUS L 560 #9094443 待售
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ID: 9094443
晶圆大小: 4"-6"
E-Beam Evaporator, 4"-6"
Unit can deposit (8) each 4" substrates simultaneously
Or (5) each 6" substrates
Vacuum chamber nonmagnetic stainless steel
Inner diameter: ~ 550 mm
Chamber with frame: 1,810 x 830 x 1,200 mm
Control cabinet: 1,810 x 570 x 810 mm
High-vacuum pumping system
Turbo-molecular pump: TURBOVAC 1000
Pumping speed for N2: 1,000 liter/s
Rotary vane pump: TRIVAC D65B
Pumping speed: 65m³/h
LN2 cooling trap
Consumption: ~ 1 liter/h
Viewing baffle: Automatic pumping-system control
Vacuum gauges
Fore-vacuum meter: TM220S 10-³ to 10³ mbar
High-vacuum meter: IM 210 10-9 to 10-³ mbar
E-beam source:
E-beam gun: ESV 6-270, 4 kW
E-beam evaporation source with 4 pockets
Diameter of 1 pocket: ~ 20 mm
Glow Discharge Unit for pre-cleaning
(1) Holder for quartz microbalance crystal
Inficon deposition controller XTC/2 connected to crystal unit
(2) Thermal Evaporators with shutters
(3) Gas-flow meter with MKS MFCs
Chamber:
Carousel diameter: 450 mm
Chamber size: 560 W x550 D x 580 H mm
Vacuum Pumps:
TRIVAC D65, RUVAC WS251 and Leybold Turbopump Turbovac 1000 with 1000/1500 Turbotronic
Cooling system:
Water cooling of e-beam source
Cooling water lines placed around the chamber
Heating system:
No water heating of the chamber
Includes equipment for wafer and chamber heating
Substrate Holder:
Holder can be chosen to rotate during the whole process.
LEYBOLD HERAEUS L 560蒸发器是一种高效、自动控制的蒸发器，设计用于有机材料和水溶液的热蒸发。L 560使用蒸发室，提供一种独特的沉积技术，允许对挥发性和半聚体化合物进行精细控制和有效的热分解。蒸发器采用低成本、高效的蒸发器设计，最大限度地降低了产品污染的风险。LEYBOLD HERAEUS L 560具有自动温度和压力设置以及简单、直观的操作，允许用户为每个实验快速设置蒸发器。由于蒸发器是为特定材料预先定义的，用户可以轻松地复制蒸发过程，并迅速将其设置与他们的研究或应用需求相匹配。一款简单易用的设备让用户可以从仪器的显示屏上即时快速调整设置。L 560具有固定玻璃蒸发器柱和可调加热板，以调节加热和产品通量。蒸发器的高功率、低压加热板确保了各种材料的蒸发，同时保护系统免受电流过载。可调的加热板允许用户精确控制烤箱温度，允许重复蒸发过程。LEYBOLD HERAEUS L 560还提供了符合人体工程学和高度可靠的通风装置，允许从蒸发室中提取热量和烟雾，并将它们有效地转移到两个容易接近的管道之一。可调气流调节器为用户提供对蒸发速率的高度控制，确保均匀干燥和干燥温度。此外，柔性管道的柔性机器确保蒸发器内的安静操作和空气循环。L 560配备了先进的过滤工具，通过两个过滤器过滤大气，在尘埃和微粒到达蒸发器腔室之前进行收集。这种先进的过滤设备确保了可燃材料的安全，并确保了安全运行。LEYBOLD HERAEUS L 560有各种各样的配件,包括样品支架、样品托盘、蒸发器瓶等,确保用户拥有成功且可重复的蒸发过程所需的一切。无论采用哪种方法,L560都能提供高度可靠的有机物和水溶液热蒸发.
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