二手 OERLIKON / LEYBOLD 450B #9254671 待售
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ID: 9254671
优质的: 2009
Vacuum coating machine
With digital display
Touch panel control
AS 053 Digital control
TB20 Turbo drive readout
D65B Vacuum pump
TRIVAC D 65-V Vacuum pump
INFICON SQC-310 Deposition digital controller
THERMO FISHER / NESLAB ThermoFlex 1400 Recirculating chiller
2009 vintage.
OERLIKON/LEYBOLD 450B是一种蒸发器,用于生产用于半导体和光学涂层等应用的高温精密薄膜。它利用低压蒸发过程,允许有机、无机和聚合物薄膜的沉积,厚度从单分子到几微米不等。蒸发器中的加热器组件采用了四个可以单独调节的加热区,允许多用途、精确的温度控制和逐渐的温度变化。每个加热区都包含高精度、快速反应的陶瓷加热器。该电源的设计目的是为快速加热和冷却周期提供精确稳定的电源。蒸发器采用水冷室,提高了效率,改进了工艺控制。起始材料可以是颗粒、颗粒或固态源的形式。然后将材料装入高真空室。水冷的样品船有助于将材料保持在汽化点以下的温度。然后将样品物料通过在crucible蒸发器和侧面排气口之间施加压差进行蒸发。材料随后通过前体进入工艺室,并与反应性气体溷合。然后将材料沉积到基板上,形成薄膜。LEYBOLD 450B的控制系统设计方便、精确地控制沉积过程。它具有直观的图形用户界面,具有先进的选择和监测沉积时间、薄膜厚度、空间均匀性以及总压力监测等操作参数的能力。此外,还有一些可自定义的用户定义自动配方,可以存储和召回这些配方以备将来运行。OERLIKON 450B蒸发器是生产工艺性能提高、工艺可靠性提高、用户控制灵活的优质薄膜的理想解决方桉。它是薄膜沉积应用的理想选择,对各种材料都能产生优异的效果。
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