二手 ULVAC CRTM-8000 #9105412 待售

ULVAC CRTM-8000是一种用于薄膜材料沉积的蒸发器。该蒸发器配备了先进的低温汽相传输（VAPT）设备。该系统使用ULVAC专利的精确电子束源（PEBS）。这使用了带有专门设计的磁透镜的精确电子束来控制沉积过程。CRTM-8000蒸发器具有一定的精确度和均匀性，通常与气相沉积有关，远远优于标准的热蒸发。ULVAC CRTM-8000的温度范围为0-800℃,腔室大小为120 mm,真空额定值为10-7 Torr。它具有气体扩散源机制，能够高效地实现多种气体的气相传输。这个单元使用先进的反馈控制算法来控制蒸气传输和沉积过程。CRTM-8000具有高度的热均匀性，可用于LPCVD（低压化学气相沉积）、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、溅射沉积（PVD）等多种沉积模式。ULVAC CRTM-8000具有快速的热响应时间,可确保材料的快速蒸发和沉积.它还具有先进的热控机，能够准确监测和维持沉积室内的稳定温度。该工具采用先进的温度感测、加热、冷却和阻尼技术来优化和维持薄膜材料的精确沉积温度。CRTM-8000可以配置用于单晶片或批处理应用程序,并且由于其高性能组件和高级资产设计而具有较低的运营成本。该型号还采用了高剂量和低剂量均可操作的6电正电子发射设备，可用于非晶硅、多晶硅等耐火材料的薄膜沉积，可用于金属、陶瓷、玻璃等基材。ULVAC CRTM-8000是一种高效且经济实惠的蒸发器,专为各种应用而设计。其先进的特点使其能够实现高沉积精度和均匀性以及精确的温度控制，使其成为各种薄膜沉积工艺的理想解决方桉。